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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5348481(A) 申请公布日期 1978.05.01
申请号 JP19760122798 申请日期 1976.10.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 INABA KEIZOU;KOKUBU SHIYOUEI
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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