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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5348475(A) 申请公布日期 1978.05.01
申请号 JP19760123534 申请日期 1976.10.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEDA KAZUO;KANEKO YUKIO
分类号 H01L21/768;H01L21/283;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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