发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR LAMINAR COATING WORKPIECES BY CHEMICAL SEPARATING FROM VAPOR-PHASE
摘要
申请公布号 HU171878(B) 申请公布日期 1978.04.28
申请号 HU1974EE02276 申请日期 1974.11.05
申请人 VEB ELEKTROMAT,DD 发明人 PETERMANN,KLAUS,DD;MOELLER,RAINER,DD
分类号 C23C16/00;C23C16/54 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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