发明名称 GENERATION OF MAGNETOAKTIVE PLASMA FOR THIN LAYERS ESP.OXIDES FORMING ON SOLID SUBSTRATE METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 CS182562(B1) 申请公布日期 1978.04.28
申请号 CS19750008587 申请日期 1975.12.16
申请人 BARDOS,LADISLAV,CS;LONCAR,GOJKO,CS;MUSIL,JINDRICH,CS;ZACEK,FRANTISEK,CS 发明人 BARDOS,LADISLAV,CS;LONCAR,GOJKO,CS;MUSIL,JINDRICH,CS;ZACEK,FRANTISEK,CS
分类号 H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
地址