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发明名称 ANISOTROPIC ETCHING
摘要
申请公布号 JPH02251141(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890073270 申请日期 1989.03.24
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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