APPAREIL DE SPECTROSCOPIE PAR DIFFUSION D'IONS

摘要

L'invention concerne la spectroscopie par diffusion d'ions. Elle se rapporte à un spectromètre comportant un analyseur 82 à miroir cylindrique et un canon ionique 80 disposé axialement dans l'analyseur. Un échantillon 86 à analyseur est placé axialement à une extrémité de l'analyseur et un détecteur 90 est monté axialement à l'autre extrémité de l'analyseur 82. Application à l'analyse de la composition des surfaces des échantillons.