VERFAHREN ZUM AETZEN EINES HALBLEITERSUBSTRATS,申请号DE19772747414-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VERFAHREN ZUM AETZEN EINES HALBLEITERSUBSTRATS
摘要
申请公布号	DE2747414(A1)	申请公布日期	1978.04.27
申请号	DE19772747414	申请日期	1977.10.21
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD.	发明人	MURAOKA,HISASHI;ASANO,MASAFUMI;OHASHI,TAIZO
分类号	C23F1/10;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76	主分类号	C23F1/10
代理机构		代理人
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