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发明名称 DETECTING A REGISTRATION MARK ON A TARGET
摘要
申请公布号 GB1508903(A) 申请公布日期 1978.04.26
申请号 GB19750022919 申请日期 1975.05.23
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 G05D3/12;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):G01S5/15 主分类号 G05D3/12
代理机构 代理人
主权项
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