发明名称 IMPURITY DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5346272(A) 申请公布日期 1978.04.25
申请号 JP19760121389 申请日期 1976.10.08
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMAGISHI SOUKICHI;MIHASHI GUNJI
分类号 C30B31/02;H01L21/225 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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