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发明名称
PRODUCTION OF INTEGRATED CIRCUIT ELEMENT
摘要
申请公布号
JPS5345183(A)
申请公布日期
1978.04.22
申请号
JP19760120086
申请日期
1976.10.05
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KIRIYAMA KOUICHI
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L23/28
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
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