发明名称 FITTING METHOD FOR SEED CRYSTAL FOR SINGLE CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5344488(A) 申请公布日期 1978.04.21
申请号 JP19760119418 申请日期 1976.10.06
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 FUKUDA TSUGUO;MATSUMURA SADAO;ITOU TOSHIHARU
分类号 C30B15/32;C01G35/00;C30B29/30;H01L21/208 主分类号 C30B15/32
代理机构 代理人
主权项
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