发明名称 |
FITTING METHOD FOR SEED CRYSTAL FOR SINGLE CRYSTAL GROWTH |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5344488(A) |
申请公布日期 |
1978.04.21 |
申请号 |
JP19760119418 |
申请日期 |
1976.10.06 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
FUKUDA TSUGUO;MATSUMURA SADAO;ITOU TOSHIHARU |
分类号 |
C30B15/32;C01G35/00;C30B29/30;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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