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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DUENNEN OXIDSCHICHT
摘要
申请公布号 DE2746941(A1) 申请公布日期 1978.04.20
申请号 DE19772746941 申请日期 1977.10.19
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. 发明人 M. MCLOUSKI,RAYMOND;R. REID,PHILIP
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3105;H01L21/336;(IPC1-7):C23C11/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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