| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PERFEZIONATO PER LA LAVORAZIONE DI WAFER SEMICONDUTTORI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1022968(B) |
申请公布日期 |
1978.04.20 |
| 申请号 |
IT19740028563 |
申请日期 |
1974.10.18 |
| 申请人 |
INT.BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/66;G01R27/02;G01R31/26;H01L21/027;H01L21/28;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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