发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5344184(A) 申请公布日期 1978.04.20
申请号 JP19760118841 申请日期 1976.10.01
申请人 SANSHA ELECTRIC MFG CO LTD 发明人 OOSAWA YUTAKA;KANNOU SHIYOUICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/306;H01L21/331;H01L21/52;H01L29/72;H01L29/74;H01L29/861 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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