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发明名称 VORRICHTUNG ZUM ZIEHEN VON EINKRISTALLINEM SILIZIUM
摘要
申请公布号 DE2745335(A1) 申请公布日期 1978.04.20
申请号 DE19772745335 申请日期 1977.10.08
申请人 RCA CORP. 发明人 BERKMAN,SAMUEL;MIN KIM,KYONG;EDGAR TEMPLE,HAROLD
分类号 C30B15/10;B32B18/00;C30B15/08;C30B15/24;C30B15/34;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/18 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
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