ETCHING METHOD OF GALLIUM NITRIDE,申请号JP19760118654-传众专利搜索

发明名称	ETCHING METHOD OF GALLIUM NITRIDE
摘要
申请公布号	JPS5343480(A)	申请公布日期	1978.04.19
申请号	JP19760118654	申请日期	1976.10.01
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	OOKI YOSHIMASA
分类号	C23F1/30;C23F1/00;H01L21/306;H01L21/308	主分类号	C23F1/30
代理机构		代理人
主权项
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