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发明名称 INTERFERENCE MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5342758(A) 申请公布日期 1978.04.18
申请号 JP19760116880 申请日期 1976.09.29
申请人 CANON KK 发明人 KUWAYAMA TETSUO;TANAKA NOBUYOSHI
分类号 G01B9/02;G01B11/06;G01B11/14;G01N21/45 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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