| 发明名称 |
OPTICAL MEASURING METHOD OF PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5342068(A) |
申请公布日期 |
1978.04.17 |
| 申请号 |
JP19760116197 |
申请日期 |
1976.09.28 |
| 申请人 |
NIPPON BUSINESS AUTOMATION |
发明人 |
KUWAKI HIROSHI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B9/08;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G02B21/18;G02B27/02 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
