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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5341183(A)
申请公布日期
1978.04.14
申请号
JP19770042076
申请日期
1977.04.14
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
HASEGAWA SATORU
分类号
H01L21/306;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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