| 发明名称 |
METHOD OF ADJUSTING DISTRIBUTION OF DOPANT DENSITY IN DOPING IRRADIATED BY THERMAL NEUTRON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5339853(A) |
申请公布日期 |
1978.04.12 |
| 申请号 |
JP19760114979 |
申请日期 |
1976.09.24 |
| 申请人 |
KOMATSU DENSHI KINZOKU KK |
发明人 |
YUSA ATSUSHI;YATSURUGI YOSHIFUMI;TAKAISHI TETSUO |
| 分类号 |
G01T3/00;C30B31/20;G01T3/08;G21G1/06;H01L21/261 |
主分类号 |
G01T3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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