发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5338976(A) 申请公布日期 1978.04.10
申请号 JP19760113866 申请日期 1976.09.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DENDA TAKAHARU
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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