发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5339072(A) 申请公布日期 1978.04.10
申请号 JP19760113125 申请日期 1976.09.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIROBE YOSHIMICHI
分类号 H01L23/29;H01L21/312;H01L23/31 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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