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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5339058(A) 申请公布日期 1978.04.10
申请号 JP19760113118 申请日期 1976.09.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 ANSAI NORIO;MEGURO RIYOU
分类号 H01L21/301;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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