| 发明名称 |
PRODUCTION OF CHROMIUM MASK |
| 摘要 |
<p>PURPOSE:To reduce refleciton of light and pattern improve resolving power by oxidizing the surface of a chromium mask through chemical treatment and covering the surface with a chromium oxide.</p> |
| 申请公布号 |
JPS5339077(A) |
申请公布日期 |
1978.04.10 |
| 申请号 |
JP19760114026 |
申请日期 |
1976.09.22 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
IINO TERUO |
| 分类号 |
C23C22/58;G03F1/00;G03F1/54;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
C23C22/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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