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申请公布号 DE2219696(B2) 申请公布日期 1978.04.06
申请号 DE19722219696 申请日期 1972.04.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y. (V.ST.A.) 发明人 HEGEDUS, CORNEL LESLIE, POUGHKEEPSIE;VORA, MADHUKAR BHAVANIDAS, BEACON
分类号 H01L21/22;H01L21/74;H01L21/761;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/76;H01L27/10 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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