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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER EPITAXIALSCHICHT AUS EINEM MATERIAL AUF EINER SUBSTRATOBERFLAECHE
摘要
申请公布号 DE2744601(A1) 申请公布日期 1978.04.06
申请号 DE19772744601 申请日期 1977.10.04
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 EMANUEL KATZ,LEWIS;LEWIS PAULNACK,CARL
分类号 C30B25/02;C30B25/04;C30B25/12;C30B25/18;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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