| 发明名称 |
IMAGING AND DEPTH PROFILE ANALYSIS APPARATUS FOR USE WITH ION SCATTERING SPECTROMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1506175(A) |
申请公布日期 |
1978.04.05 |
| 申请号 |
GB19750008502 |
申请日期 |
1975.02.28 |
| 申请人 |
MINNESOTA MINING & MFG CO |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J49/44;G01N23/203;H01J37/256;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J49/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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