| 发明名称 |
THIN SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL FILM FORMING INSULATION SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5336182(A) |
申请公布日期 |
1978.04.04 |
| 申请号 |
JP19760109957 |
申请日期 |
1976.09.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHIDA TAKASHI;MIZUTANI TATSUMI;UEKI KAZUYOSHI;HARADA YUKIYOSHI |
| 分类号 |
H01L27/00;C30B25/18;C30B29/20;H01L21/20;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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