| 发明名称 |
METHOD FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4082865(A) |
申请公布日期 |
1978.04.04 |
| 申请号 |
US19770779679 |
申请日期 |
1977.03.21 |
| 申请人 |
RCA CORPORATION |
发明人 |
BAN, VLADIMIR SINISA;GILBERT, STEPHEN LEE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/208;(IPC1-7):B05D5/12 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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