发明名称 MOS TYPE SEMICONDUCTOR UNIT AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS5335480(A) 申请公布日期 1978.04.01
申请号 JP19760110299 申请日期 1976.09.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 EZAKI TAKEYA
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/36 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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