发明名称 PRODUCTIN OF SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5335473(A) 申请公布日期 1978.04.01
申请号 JP19760110070 申请日期 1976.09.14
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OGATA AKINORI
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利