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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING FILM CARRIER TAPE
摘要
申请公布号 JPS5335380(A) 申请公布日期 1978.04.01
申请号 JP19760109593 申请日期 1976.09.13
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IMAI MITSURU;MATSUBAYASHI TOSHIO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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