| 发明名称 |
WORKING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
PURPOSE:To peel wafers from a polishing tool and clean them by dissolving a wafer affixing agent with organic solvent vapor. |
| 申请公布号 |
JPS5335373(A) |
申请公布日期 |
1978.04.01 |
| 申请号 |
JP19760109589 |
申请日期 |
1976.09.13 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
KOSHIMURA TSUTOMU;KIMURA KAZUHARU |
| 分类号 |
H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
