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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5334478(A) 申请公布日期 1978.03.31
申请号 JP19760107887 申请日期 1976.09.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YAMAMOTO YOSHIO;OZAWA SHIGERU
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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