DISPOSITIF DE MANIPULATION DE PASTILLES

摘要

Dispositif de manipulation de pastilles semi-conductrices. Il comprend une base Il sur laquelle est posée une platine 12 de maintien de la pastille 14 à vide. Un balayage du plan de travail 13 par un flux d'air purifié fourni par le conduit 18 entre les séparations 20, maintient la pastille à l'abri de la contamination par l'air ambiant présentant un moindre degré de pureté L'alimentation en air purifié a lieu par le tube 21 terminé par un diffuseur 22. Un couvercle 15 muni de joues 16A est relié à la base il. Permet de maintenir les pastilles à l'abri de la pollution par l'air ambiant pendant toutes les manipulations et peut donc être utilisé pour tout traitement de pastilles semi-conductrices.