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发明名称
METHOD OF FORMING THE HOLESIN THIN LAYERS
摘要
申请公布号
CS181574(B1)
申请公布日期
1978.03.31
申请号
CS19760002391
申请日期
1976.04.12
申请人
PASTOREK,AUGUSTIN,CS;SLOVIK,ALOJZ,CS
发明人
PASTOREK,AUGUSTIN,CS;SLOVIK,ALOJZ,CS
分类号
H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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