发明名称 METHOD OF FORMING THE HOLESIN THIN LAYERS
摘要
申请公布号 CS181574(B1) 申请公布日期 1978.03.31
申请号 CS19760002391 申请日期 1976.04.12
申请人 PASTOREK,AUGUSTIN,CS;SLOVIK,ALOJZ,CS 发明人 PASTOREK,AUGUSTIN,CS;SLOVIK,ALOJZ,CS
分类号 H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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