发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5334463(A) 申请公布日期 1978.03.31
申请号 JP19760107926 申请日期 1976.09.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ASAI YOSHIHIDE;AJIOKA TSUNEO;USHIO SHINTAROU
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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