| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN EEN LAAG MET EEN STRUCTUUR OP EEN SUBSTRAAT. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7710607(A) |
申请公布日期 |
1978.03.31 |
| 申请号 |
NL19770010607 |
申请日期 |
1977.09.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C30B23/04;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):B01J17/28 |
主分类号 |
C30B23/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
