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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5333581(A)
申请公布日期
1978.03.29
申请号
JP19760107793
申请日期
1976.09.10
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATSUTOU HISAO;MURAMATSU SHINICHI;TSUNEKAWA SUKEYOSHI
分类号
H01L21/306;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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