发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5333581(A) 申请公布日期 1978.03.29
申请号 JP19760107793 申请日期 1976.09.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATSUTOU HISAO;MURAMATSU SHINICHI;TSUNEKAWA SUKEYOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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