发明名称 PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPS5240062(A) 申请公布日期 1977.03.28
申请号 JP19750115627 申请日期 1975.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJI SHINKOU
分类号 H01L23/50;H01L21/60 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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