发明名称 P TYPE IMPURITY DIFFUSING METHOD TO SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 JPS5333054(A) 申请公布日期 1978.03.28
申请号 JP19760106747 申请日期 1976.09.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIGUCHI HIROYUKI;KADOMA NAOHIRO
分类号 H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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