CONTINUOUS* MIXING* THIN FILM SPATTERING APPARATUS,申请号JP19760107522-传众专利搜索

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发明名称	CONTINUOUS* MIXING* THIN FILM SPATTERING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPS5332836(A)	申请公布日期	1978.03.28
申请号	JP19760107522	申请日期	1976.09.08
申请人	OIKE KOGYO KK	发明人	NARUI HIROSHI;GOTOU DENICHIROU;OGURISU TERUO
分类号	C23C14/56	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
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