发明名称 MANUFACTURING SILICON ALUMINIUM OXYNITRIDES
摘要
申请公布号 IE46046(L) 申请公布日期 1978.03.27
申请号 IE19770001956 申请日期 1977.09.26
申请人 CERAVER 发明人
分类号 C01B21/082;C04B35/597;(IPC1-7):C01B21/068;C01B21/072;C01B33/00 主分类号 C01B21/082
代理机构 代理人
主权项
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