发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5360174(A) 申请公布日期 1978.05.30
申请号 JP19760134862 申请日期 1976.11.10
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAHASHI TOORU;MUGISHIMA YOSHIAKI
分类号 H01L21/52;H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址