发明名称 PROCEDE EPITAXIQUE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR OU GA AL AS ET DISPOSITIF AINSI OBTENU
摘要 Un système de couches présentant une couche de contact en arséniure de gallium est formée par voie épitaxiale, après quoi, au cours d'un second processus d'épitaxie, une couche en arséiniure de gallium-aluminium est formée sélectivement. Pour eviter que cette dernière couche ne se forme sur la couche en arséniure de gallium, celle-ci est recouverte d'une couche de masquage en arséniure de gallium-aluminium, dont la composition diffère de celle de la couche à appliquer sélectivement, après quoi la couche de masquage peut être enlevée sélectivement. Application : photodiodes.
申请公布号 FR2363201(A1) 申请公布日期 1978.03.24
申请号 FR19770026191 申请日期 1977.08.29
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人
分类号 C30B19/00;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208;H01L21/306;H01L31/0304;H01L33/30;H01S5/227;(IPC1-7):H01L33/00;H01S3/19 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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