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发明名称
PHOTO MASK
摘要
申请公布号
JPS5331402(A)
申请公布日期
1978.03.24
申请号
JP19760106472
申请日期
1976.09.06
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
SASAMOTO TOSHIROU
分类号
G03C5/00;G03F1/00;G03F1/54;G03F7/004;G03F7/09;H01L21/00;H01L21/027
主分类号
G03C5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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