发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE PLAQUES DE SILICIUM DE GRANDE SURFACE NON SOUTENUES
摘要 Procédé de fabrication de plaques de silicium de grande surface, non soutenues. Ce procédé est essentiellement caractérisé en ce qu'on dépose jusqu'a une épaisseur de 200 à 650 mu m, sur un substrat en graphique porté à la température de dépôt, du silicium provenant d'un composé gazeux auquel on a ajouté un dopant, puis on fait fondre cette couche de silicium sur 40 à 100 % de son épaisseur à partir de sa surface libre, on provoque ensuite une nouvelle solidification de la matière de cette couche par création d'un gradient de température approprié à partir du substrat, et enfin on la sépare du substrat. Ces plaques de silicium sont destinées à la fabrication de cellules solaires.
申请公布号 FR2363200(A1) 申请公布日期 1978.03.24
申请号 FR19770025811 申请日期 1977.08.24
申请人 WACKER CHEMITRONIC ELEKTRONIK 发明人
分类号 C01B33/02;C01B33/027;C23C16/01;C23C16/24;C30B13/00;C30B13/06;C30B25/02;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/208;H01L31/04 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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