发明名称 METHOD OF PRODUCING MICROPATTERN
摘要
申请公布号 JPS5330774(A) 申请公布日期 1978.03.23
申请号 JP19760104977 申请日期 1976.09.03
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBATA SUSUMU
分类号 H05K3/24;H05K3/00;H05K3/18 主分类号 H05K3/24
代理机构 代理人
主权项
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