| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5330871(A) |
申请公布日期 |
1978.03.23 |
| 申请号 |
JP19760104866 |
申请日期 |
1976.09.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OONUKI HITOSHI;SUWA MASATERU;ONODERA KIYUUKICHI;MATSUKUMA KUNIHIRO;KARAUCHI SHIGERU |
| 分类号 |
C30B31/06;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/52 |
主分类号 |
C30B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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