发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING PN JUNCTION STATE
摘要
申请公布号 JPS5434779(A) 申请公布日期 1979.03.14
申请号 JP19770100455 申请日期 1977.08.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAYASHI SHIYOUJI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址
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